Производство солнечных батарей
Элемент 1-го поколения (кристаллический кремний)
Кремний солнечных батарей получают в реакторах с использованием металлургического кремния методом химического осаждения из паровой фазы (CVD). В процессе газообразный силан вводится с помощью высокотемпературных поликремниевых стержней внутри охлаждаемого колпака. Кремний, содержащийся в газе, оседает на нагретых стержнях, которые постепенно увеличиваются, пока не будет достигнут желаемый диаметр. Вакуумная система используется для вакуумирования реакторов перед началом химической реакции. Рабочий уровень вакуума для данного применения составляет от 0,5 до 1 Торр.
Элемент 2-го поколения (тонкая пленка)
Многие тонкопленочные устройства созданы на основе сплавов аморфного кремния. Другие тонкопленочные устройства обычно представляют собой поликристаллические материалы. Изготовление тонкопленочного солнечного элемента включает нанесение слоя полупроводникового материала (например, аморфного кремния, диселенида меди, индия, галлия или теллурида кадмия) на дешевую подложку, такую как стекло, металл или пластик. Современные методы осаждения можно в общих чертах разделить на физическое осаждение из паровой фазы (PVD), химическое осаждение из паровой фазы (CVD), химическое осаждение из паровой фазы с плазменным усилением (PECVD) или некоторую их комбинацию. Вакуумные насосы будут работать с токсичными, коррозионными, взрывчатыми, пирофорными и легкими газами, такими как водород, силан, гелий, гексафторид серы (SF6), трифторид азота (NF3), фосфин, германий, трифторид бора и многие другие, в зависимости от процесса и технологии. Кроме того, важны скорость вакуумной откачки и быстрая смена камер. Наши двухступенчатые вакуумные системы отвечают вышеуказанным требованиям. Наши системы оснащены панелью управления NEMA для включения и выключения системы, а также защитными блокировками для системы, такими как высокая температура масла и высокая температура нагнетания газа. В зависимости от применения также предусмотрены средства управления продувкой инертным газом.
|
|
|